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深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司

單工位減薄機(jī)

型號(hào):DL-GD3002A

單工位減薄機(jī)是單主軸、單工作臺(tái),結(jié)構(gòu)簡單緊湊的精密研削減薄機(jī)。適用于Φ300mm以下的硅晶圓、碳化硅、藍(lán)寶石、陶瓷、光學(xué)玻璃等硬脆性材料的精密研磨。

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單工位減薄機(jī)
設(shè)備優(yōu)勢(shì)

◎ 本機(jī)器采用晶圓自旋轉(zhuǎn)研磨法的原理為:如圖a 采用略大于晶圓的工件轉(zhuǎn)臺(tái),工件通過真空吸盤夾持在工件轉(zhuǎn)臺(tái)的中心,磨輪邊緣調(diào)整到工件的中心位置,工件和砂輪繞各自的軸線回轉(zhuǎn),進(jìn)行切入減薄。砂輪與工件的接觸長度、接觸面積、切入角不變,研磨力恒定,加工狀態(tài)穩(wěn)定,可以避免工件出現(xiàn)中凸和塌邊現(xiàn)象。尤其對(duì)較薄的工件表現(xiàn)較為明顯。


◎ 研磨主軸均采用氣浮軸承結(jié)構(gòu),定子、轉(zhuǎn)子之間由于沒有機(jī)械軸承的摩擦力,磨損程度降到了最低,從而確保精度始終保持穩(wěn)定。


◎ 氣浮軸承阻力較低,允許較高的速度,并能同時(shí)保持較低的振動(dòng)水平。


◎ 氣浮主軸精確的、可重復(fù)的運(yùn)動(dòng),使得表面光度達(dá)到了非常出色的程度。由于硬度是由貫穿軸承的、始終如一的空氣流提供的,轉(zhuǎn)子所經(jīng)受的、來自外負(fù)載的作用力,在其旋轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定的分布在所有點(diǎn)上。這一特性與磨削時(shí)產(chǎn)生良好的表面光度息息相關(guān)。


性能參數(shù)
參數(shù)名稱單位DL-GD3002A
晶圓尺寸in?12'' (?4''/?6''/?8''/?12'')
研磨方式-晶圓旋轉(zhuǎn)進(jìn)給磨削
砂輪直徑mm?300金剛石砂輪
主軸
額定功率
KW7.5/12.9
額定轉(zhuǎn)速RPM4000
磨削精度片間厚度變化
um≤±3
TTVum≤3
表面粗糙度Raum0.15(#2000)
設(shè)備尺寸(W x D x H)mm1150x1260x1950
設(shè)備重量KG約1600
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減薄機(jī)根據(jù)客戶不同的需求進(jìn)行定制,滿足不同客戶的需求,擁有專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),設(shè)備精度高,負(fù)責(zé)上門安裝調(diào)試及培訓(xùn)

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