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深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司

全自動(dòng)超精密晶圓減薄機(jī)

型號(hào):DL-GD2005A/GD3005A

全自動(dòng)超精密晶圓減薄機(jī)是一款功能全面,兼容性好,配置豐富,全自動(dòng)系統(tǒng)的高精度研磨設(shè)備。全自動(dòng)上下料,可進(jìn)行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。

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全自動(dòng)超精密晶圓減薄機(jī)
設(shè)備優(yōu)勢(shì)

◎ 減薄單元采用軸向進(jìn)給(ln-Feed)磨削原理,兼容Φ100~300mm晶圓磨削減薄加工。


◎ 設(shè)備配有MARPOSS在線測(cè)量?jī)x單元,加工時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)量產(chǎn)品厚度,精確控制減薄厚度。也可選配非接觸測(cè)量NCG單元。


◎ 設(shè)備核心是具有自主產(chǎn)權(quán)的2個(gè)靜壓氣浮磨削主軸、3個(gè)高精度晶圓主軸及1個(gè)高剛度大直徑氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)構(gòu)造的全自動(dòng)磨削減薄機(jī)。


◎ 全自動(dòng)上下料??蛇M(jìn)行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。


◎ 分別在前面、左面、右面各配置了1臺(tái)觸摸式液晶顯示器,方便在不同區(qū)域作業(yè)需求,提高了操作便利性??刂飘嬅婵赏斤@示加工狀況和設(shè)備狀態(tài),操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕,就可以簡(jiǎn)單地完成操作。


性能參數(shù)
參數(shù)名稱單位DL-GD2005ADL-GD3005A
晶圓尺寸in?8'' (?4''/?6''/?8'')

?12'' (?8''/?12'')

研磨方式-晶圓旋轉(zhuǎn)進(jìn)給磨削
砂輪直徑mm?250金剛石砂輪?300金剛石砂輪
主軸
額定功率
KW7.5/12.95.5
額定轉(zhuǎn)速RPM40003500
磨削精度片間厚度變化
um≤±2≤±3
TTVum≤2≤3
表面粗糙度Raum0.15(#2000)0.15(#2000)
設(shè)備尺寸(W x D x H)mm1350x3200x19501544x3622x2000
設(shè)備重量KG約3500約4000
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減薄機(jī)根據(jù)客戶不同的需求進(jìn)行定制,滿足不同客戶的需求,擁有專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),設(shè)備精度高,使用壽命高,負(fù)責(zé)上門安裝調(diào)試及培訓(xùn)

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